smic.18 mim电容的一点疑问

小蘑菇爱吃肉 · 发表于 2014-8-21 13:48:55

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mim电容的构造，m5层和m6层，中间为一层mim层，m5和m6之间有通孔，我自己的理解是mim层和m6层形成电容，但是不知道mim是什么层？如果是这样的话，mim应该怎么连出去？
谢谢

tuohong · 发表于 2014-8-21 15:14:46

我没用过这个工艺，按照一般的做法，是mim和m5形成电容，mim是一个类金属层，作为电容的上极板，mim层是通过m6引出去的，m6和mim之间的连接层是via5，与m6和m5之间的通孔是同一个层次。

小蘑菇爱吃肉 · 发表于 2014-8-21 16:30:11

回复 2# tuohong
谢谢

lanlan860207 · 发表于 2014-8-21 16:44:34

smic.18 mim电容构成：
top plate：MIM层
bottom plate：Mtop-1层（M5）

top and bottom plate 都是通过VT(V5)连接至Mtop层(M6)

icfbicfb · 发表于 2014-8-21 17:01:34

看design rule，里面讲了mim的构成

小蘑菇爱吃肉 · 发表于 2014-8-21 19:42:43

回复 4# lanlan860207
谢谢~

小蘑菇爱吃肉 · 发表于 2014-8-21 19:43:23

回复 5# icfbicfb

授人以渔，谢了！

Rucas · 发表于 2014-8-22 09:56:50

你看看Fab给你的Design Rule中有MIM的切面图的，
MIM为上极板，M5为下极板，M6为连接层。

jingyangni · 发表于 2014-10-21 10:29:40

飘过。。。。

photoss · 发表于 2014-10-21 14:15:50

同意2楼说法

[求助] smic.18 mim电容的一点疑问