smic.18 mim电容的一点疑问

秃顶电子 · 发表于 2014-11-7 15:54:57

那连接电容的话，直接用m6连出去就可以了吗

像疯 · 发表于 2015-1-15 10:03:46

同样的问题

icuser_zhul · 发表于 2016-3-17 08:38:29

回复 11# 秃顶电子

上极板是MIM层，下极板是M5层，MIM和M5都是通过V5通孔连接到M6层，通过M6走线。

滴水藏海 · 发表于 2016-5-11 17:35:36

终于明白了

cucume_cn · 发表于 2016-5-12 14:42:20

下极板直接M5连不行么？

fs_cyl · 发表于 2016-5-15 16:50:11

回复 13# icuser_zhul

好棒！

fs_cyl · 发表于 2016-5-15 17:35:42

回复 13# icuser_zhul

tsmc 018工艺中 M5 M6面积几乎一致，而且正对面积全部被via打通了，这样min层还有作用么

快乐小葵花 · 发表于 2016-5-16 17:58:29

想问问，MIM层会出mask吗？

洋仔 · 发表于 2019-8-14 21:57:24

SMIC180的mim电容，和TSMC的还是区别很大，SMIC的他的电容严格区分了两端，正负端，在layout和schematic中得严格对应一致，否则LVS过不了！而且两个端口都是通过M6接出去的。

邵师傅 · 发表于 2020-11-25 16:22:41

icuser_zhul 发表于 2016-3-17 08:38
回复 11# 秃顶电子

这个图直观，解除了心里的困惑

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