smic.18 mim电容的一点疑问

zhao!!!

飘过

Joychip20211202

fs_cyl 发表于 2016-5-15 17:35
回复 13# icuser_zhul

tsmc 018工艺中 M5 M6面积几乎一致，而且正对面积全部被via打通了，这样min层还有 ...

SMIC MIM剖面图如下， 1、请问各位前辈，这个电容构成是由MIM和Mn构成的吧？
2、看已经点亮产品的版图设计，实际产品的MIM电容构成有M5/M4/M3，还有MIM/MINDMY，V4/V3层，确实如你所讲，M5/M4/M3面积一样大的，而且正对面积全部被via(V4/V3)打通！如下图所示（我暂时没有把MIN.MINDMY层加上去），我很疑惑，看不懂，还请各位大神给予指点这个电容构成和原理怎样？

红红的西瓜

请问一下，现在的MIM中间填充的介质时二氧化硅还是氮化物呢？