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[求助] smic.18 mim电容的一点疑问

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发表于 2020-11-25 17:15:12 | 显示全部楼层
飘过
发表于 2021-12-10 11:18:58 | 显示全部楼层


fs_cyl 发表于 2016-5-15 17:35
回复 13# icuser_zhul

tsmc 018工艺中 M5 M6面积几乎一致,而且正对面积全部被via打通了,这样min层还有 ...


SMIC MIM剖面图如下, image.png 1、请问各位前辈,这个电容构成是由MIM和Mn构成的吧?
2、看已经点亮产品的版图设计,实际产品的MIM电容构成有M5/M4/M3,还有MIM/MINDMY,V4/V3层,确实如你所讲,M5/M4/M3面积一样大的,而且正对面积全部被via(V4/V3)打通!如下图所示(我暂时没有把MIN.MINDMY层加上去),我很疑惑,看不懂,还请各位大神给予指点这个电容构成和原理怎样?

image.jpg
发表于 2022-1-8 20:15:39 | 显示全部楼层
请问一下,现在的MIM中间填充的介质时二氧化硅还是氮化物呢?
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