High k材料的应用原因我确定是对的,k是指介电常数。由于Vgb持续降低,起初采用减小栅氧厚度来提高Cox,以实现在更小电压下反型的目的。但是在栅氧薄到一定程度以后(<10nm,据说intel搞到了1.2nm),绝缘层形成的势垒宽度太窄而容易出现隧穿效应,也就是你说的漏电流太大。因此通过换用高介电常数材料(即high k材料)来替代原有材料,以满足同时具有足够大的Cox和Tox条件。我知道的栅氧发展过程由SiO2到SiN再到HfO2,据说45nm以下又不一样了,所以现在是什么我已经搞不清楚了。