POLY不能在PPLUS和NPLUS外连接，是工艺上什么情况导致的。

a18346182703 · 发表于 2016-7-27 11:08:07

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如图，蓝色多晶硅必须在P注入和N注入内才能走线，为啥。

suly · 发表于 2016-7-27 11:35:52

其实跟工艺没什么关系吧

a18346182703 · 发表于 2016-7-27 11:42:13

回复 2# suly

那你知道为什么会这样吗，求助。

Snowy2016 · 发表于 2016-7-27 15:01:16

猜想可能是阻值的问题，如果POLY不掺杂P+或者N+，阻值会大很多倍。

a18346182703 · 发表于 2016-7-27 17:06:47

回复 4# Snowy2016

原来这样，一想好像真的是。而且40nm工艺中，应该是严格要求寄生电阻，工艺越精细要求越高，0.5um的就没这要求。

fan309550595 · 发表于 2016-7-27 20:28:29

4楼说的对一般都是为了减小方阻

suly · 发表于 2016-7-28 11:49:42

poly的方阻确实大很多啊所以一般都不会用poly去连线

tiamo1222 · 发表于 2016-7-30 13:31:47

在较大工艺节点的时候，版图不需要用N+、P+注入那是因为以前的工艺poly都是npoly工艺，也就是实际工艺上成膜之前的材料已经完成掺杂。
在较小工艺节点，版图必须要用N+/P+覆盖，是因为先进工艺的poly生长是本征poly成膜，必须要在后面完成掺杂。
不做掺杂的poly是不能用来走线的，因为本征导体的电阻是电路所无法接受的。

[讨论] POLY不能在PPLUS和NPLUS外连接，是工艺上什么情况导致的。

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