smic018工艺中NLL、PLL、NLH、PLH这几层求解释

zhanggd · 发表于 2013-8-23 12:54:30

马上注册，结交更多好友，享用更多功能，让你轻松玩转社区。

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

×

最近在看smic180nm的工艺，看到有这么几层不知道是干什么的，NLL（1.8v NLDD Implantation）、PLL（1.8v PLDD Implantation）、NLH（5v NLDD Implantation）、PLH（5v PLDD Implantation）.从网上查到了一些内容，说LDD是浅掺杂源漏的意思，在短沟道器件下减小源漏的电场强度用的。不知道这几层该不该用？

kingnan · 发表于 2013-8-23 14:01:25

回复 1# zhanggd

NLL是低压NIMP,PLL是低压PIMP,NLH是高压NIMP,PLH是高压PIMP

kingnan · 发表于 2013-8-23 14:03:26

回复 2# kingnan

这些都是foundry给做，应该用的

zhanggd · 发表于 2013-8-25 20:53:38

好的，谢谢

zhanggd · 发表于 2013-8-25 20:54:29

好的，受教了

lyfztz · 发表于 2013-8-26 07:57:28

该不该用是有design rule决定的，不是你说了算的。建议好好的研究相关的design rule。

zhanggd · 发表于 2013-8-26 15:09:01

设计规则上没有强调关于这些层是否要用,只是把他们的设计规则列出来了。顺便问一下，如果用了这些层，那么原来的层（比如 n+ implantation）还需不需要用呢。

lianaissmec · 发表于 2013-8-26 16:26:07

看mask tooling层次生成

zhanggd · 发表于 2013-8-26 16:39:32

弱弱问一句mask tooling是什么文件

nareshreddy · 发表于 2013-8-28 00:47:26

fsdfsdfdsfdsfsdfsdfsdfsdf

账号		自动登录	找回密码
密码			注册

[求助] smic018工艺中NLL、PLL、NLH、PLH这几层求解释

马上注册，结交更多好友，享用更多功能，让你轻松玩转社区。

相关帖子

站长推荐 /1