LDMOS和普通高压MOS管有什么区别？

fumes

LDMOS管相比普通高压MOS管有什么优势吗？我看工艺文档中分对称和不对称两种，什么时候用不对称管，什么时候用对称管，发现
对称管的L挺大，有3um，而不对称管的最小L是1.2um；我还发现在有的高压工艺中，例如25v的CSMC工艺中只有LDNMOS管，没
有P型的DMOS管，只有高压PMOS管，这是为什么？

jianjing526

以NMOS为例，普通HVMOS靠轻掺杂的N-区域（Drift/HVN/HVNWELL）和psub形成的结来耐压，耗尽层在psub中（即沟道区），因此L必须得到保证避免punchthrough,通常2.5um以上。LDMOS的耐压在Pbody和N-结上，耗尽层在N-区（Pbody的浓度较N-高些），L有两次扩散长度差决定，L值可以做得小些(<1.5um). 因此同样的Rdson用LDMOS来做面积上有优势。
非对称的只有Drain端能耐高压，而对称的Drain和Source都可以耐高压
P管相对Rdson大些，功率管更倾向N管，因此P-type的DMOS就比较少见了。

欢迎补充

fumes

回复 4# jianjing526


    为什么pmos管导通电阻大还不提供dmos?这样上下驱动能力不对称呀.

andy2000a

要問懂PROCESS 吧, 我只知道 一般Dmos  rds_on 大, 要  low rds_on 就是用 LDNMOS , 又分 high side , low side  

高壓NMOS 電場會有些是靠 source 端  kirk effect .
有一說是 high side LDNMOS 不好開發,

另外要高壓一般都DOPING淡些, 但因此 會電阻變大.. 這有和rds 有衝突了,
  rds 變低可能耐壓又變,  另外記得一般 MOS  breakdown 是 off 下 break down ,
不是 on break down , 有些電路在 turn on 前一刻是高壓 , 因為 MOS 還沒全都TURN ON ,
但是有部份 TURN ON , 有些DEVICE 可能發生 on break down .


UHV mos 一般是 field plate + resurf  (就是聽說用夾的方式 )
nmos 內加入 p burier layer.

一般PMOS 可以不使用, 改用  ISO_NMOS  來推..  
這些都是平躺的MOS 可以跟一般 LOGIC CI 整合也才多使用,

至於外面賣大顆 TO220 獨立的 POWER MOS 內是垂直 VMOS 方式,
一般也都是看到只有高壓NMOS
  有1說  pmos 或許不好開發..

mouseliu

与非门之类的就需要source耐高压

cliassh

回复 4# jianjing526


    请问一下，你说的耐高压是指在psubstrate接GND时，D或S端能达到的最高电压吧？我是做IC设计的，从普通CMOS转过来做power IC的，请多多指教。

lovexxnu

回复 12# cliassh


   sb和db的电压

peterlin2010

一般 Dmos  dual gate oxide process ..
like 40v  asym    一端耐高壓另一端  source/bulk 是低壓..  
    sym  就兩邊耐高壓

ldmos process  => 一般是 low volt oxide , Vth 低但 drain 耐高壓,  一般 LDMOS
   20v 40v 60v  80v ..只要拉開就能增加 . 但是 LDNMOS  如果須要 source 耐高壓
  那就叫 high side LDNMOS ... 至於為何 source  一般是低壓?

先前有聽過老師提到 nmos source 那電場會很高

另外 high side LDnmos 和  syn MOS  在  high side driver 有 用  ..
特別是做  gate clamp .

iso nmos  size 類似 snmos 都很大..比 aym nmos .

cliassh

回复 9# peterlin2010


    多谢回复，我需要一个电流双向流动的LDNMOS。根据你的描述，Vsb可以赖高压，但是S到substrate呢？

我现有的HV-CMOS制程只有非对称结构的LDNMOS，其bulk, drain, substrate有个寄生的PNP BJT，S和B相连，当Vs>Vd>Vsubstrate时，这个BJT就会导通了，不符合我的要求，请问有没有对称结构的LDNMOS可以满足我的要求的？请帮忙推荐一个可用的制程，要求最大电压120V，多谢了。

cliassh

@lovexxnu