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楼主: feynmancgz

[原创] CMOS图像传感器系列 - 3 像素设计基础

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发表于 2022-4-1 19:34:09 | 显示全部楼层


feynmancgz 发表于 2022-4-1 15:23
关系倒不是很大,但其实用PPT画起来很容易,我就用PPT画的


还一直在想这是用什么软件画的,没想到是ppt,哈哈哈
发表于 2022-4-13 16:34:31 | 显示全部楼层


feynmancgz 发表于 2022-3-27 03:47
首先UV的话,肯定是用BSI比较好。再是,您是指哪种UV?UV的range其实也不小,10~400nm都可以是UV。 300 ...


感谢楼主回复,主要是电路设计这块,200nm以下的UV光对芯片损伤,NMOS漏电流?或者是电阻大小等影响?
 楼主| 发表于 2022-4-18 20:59:37 | 显示全部楼层


colnie 发表于 2022-4-13 16:34
感谢楼主回复,主要是电路设计这块,200nm以下的UV光对芯片损伤,NMOS漏电流?或者是电阻大小等影响?
...


200nm以下如果你想直接检测的话,建议使用BSI,这样就不会对前面的device产生影响,只需要注意背面的passivation和ARC就行。FSI会很难用,因为一般的ARC会让200nm一下的QE很低,另外150nm一下,SiO2对UV还会有强吸收。或者你用scintillator转成绿光,再做检测,这样倒是可以用FSI。


发表于 2022-4-19 18:45:52 | 显示全部楼层

学习了,谢谢分享。
发表于 2022-4-26 08:35:59 | 显示全部楼层


feynmancgz 发表于 2022-4-18 20:59
200nm以下如果你想直接检测的话,建议使用BSI,这样就不会对前面的device产生影响,只需要注意背面的pass ...


谢谢大神。

我意思可能没有表达的非常清楚。如果去设计一款UV应用的CIS,除了BSI/passivition/ARC等像素array部分,外围电路设计有哪些考虑,针对UV使用的life time和performance


发表于 2022-4-26 15:41:51 | 显示全部楼层


colnie 发表于 2022-4-26 08:35
谢谢大神。

我意思可能没有表达的非常清楚。如果去设计一款UV应用的CIS,除了BSI/passivition/ARC等像 ...


请教下,UV的cis是应用在哪里的??
 楼主| 发表于 2022-4-27 18:09:02 | 显示全部楼层
本帖最后由 feynmancgz 于 2022-4-28 02:24 编辑


colnie 发表于 2022-4-26 08:35
谢谢大神。

我意思可能没有表达的非常清楚。如果去设计一款UV应用的CIS,除了BSI/passivition/ARC等像 ...


用BSI的话,不需要太考虑,200nm以下的absoprtion length都是nm级,根本到不了前面对其他器件产生影响。除非你是做EUV级的?

 楼主| 发表于 2022-4-28 02:34:15 | 显示全部楼层


zhy00win 发表于 2022-4-26 15:41
请教下,UV的cis是应用在哪里的??


其实不少,工业上像是材料检测啊,很多,还有生物医疗,当然还有国人心心念念的光刻机

发表于 2022-4-30 16:00:59 | 显示全部楼层
追更
发表于 2022-6-13 13:49:36 | 显示全部楼层
前辈下午好,上次在您的帮助下现在成功推进到post-sim阶段了,十分感谢!现在在分析cmp结果时发现cmp 两次量化相减的输出会很有规律的相隔几十列就呈现图中这种波形(C+CC),有些费解,不太清楚能从哪方面着手分析了……
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