集成电路工艺BEOL、MEOL和FEOL到底什么分别

神采-飞扬 · 发表于 2023-11-27 17:49:51

学到了！感谢！

dmf336 · 发表于 2023-12-1 15:10:17

非常感谢

PN_Allen · 发表于 2023-12-4 09:50:43

MEOL是先进制程才分出来的，一般可以认为28HK制程之后尤其FinFET会有这种划分。
因为先进制程的Metal gate和contact会比较复杂，所以单独分出来。
28以前，什么40/45/65都只分FEOL和BEOL

星辰与大海 · 发表于 2023-12-17 21:21:06

FEOL:器件制造，前端工艺；MEOL:器件层互联，中端工艺；BEOL 电路互联至芯片外表面，后端工艺；难度：FEOL>MEOL>BEOL

古月小君 · 发表于 2024-2-1 16:30:39

一直以来的困惑解开了

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