集成电路工艺BEOL、MEOL和FEOL到底什么分别

zhanghao1403 · 发表于 2019-10-21 08:53:38

gongzhe1231 发表于 2019-6-11 16:22
在集成电路工艺中，制造器件部分的工艺叫做FEOL也就是前端，CT和M1作为MEOL也就是中段，之后的连线部分叫做 ...

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Zhangshuan · 发表于 2020-6-15 03:06:36

谢谢分享

Zhangshuan · 发表于 2020-6-27 04:18:28

谢谢分享

xlteam2 · 发表于 2020-6-27 05:04:26

VERY GOOD

14102227 · 发表于 2020-6-27 16:29:45

Thank you for sharing

spartan313 · 发表于 2020-10-29 14:03:31

MEOL: Mid-end-of-line

orahung · 发表于 2020-11-2 14:14:18

了解一下

SamuelShaw · 发表于 2021-2-28 14:05:34

Lin@Shi 发表于 2017-10-10 17:02
BEOL Back end of line
MEOL medium end of line(猜的)
FEOL front end of line

谢谢分享

SamuelShaw · 发表于 2021-2-28 14:06:44

gongzhe1231 发表于 2019-6-11 16:22
在集成电路工艺中，制造器件部分的工艺叫做FEOL也就是前端，CT和M1作为MEOL也就是中段，之后的连线部分叫做 ...

谢谢分享

jiangnidianlian · 发表于 2021-9-13 11:27:40

gongzhe1231 发表于 2019-6-11 16:22
在集成电路工艺中，制造器件部分的工艺叫做FEOL也就是前端，CT和M1作为MEOL也就是中段，之后的连线部分叫做 ...

请问CT指的是什么

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