集成电路工艺BEOL、MEOL和FEOL到底什么分别

gongzhe1231 · 发表于 2021-9-13 22:04:23

jiangnidianlian 发表于 2021-9-13 11:27
请问CT指的是什么

Contact hole 用于有源区的连线的通孔

fayang · 发表于 2021-9-15 18:21:28

M 还第一次看到

qgs · 发表于 2021-10-23 16:07:18

奔呆波 · 发表于 2021-11-10 15:03:10

BEOL Back end of line
MEOL medium end of line(猜的)
FEOL front end of line

zddfly · 发表于 2022-2-9 19:25:24

学到了，谢谢！

fenghws · 发表于 2022-3-9 09:25:58

非常感谢！

jugg.zhang · 发表于 2022-4-1 21:19:56

一般只有前段和后段

sixz23 · 发表于 2022-6-4 16:12:24

FEOL: Front End of Line
BEOL: Back End of Line，FEOL主要指WS到CT这一段loop，主要是device等的构建，Salicide形成，BEOL为CT以后的Process，主要是metal连线等

songzijian87 · 发表于 2022-6-15 15:04:37

学习了

CMP亚当 · 发表于 2022-6-16 12:55:34

Metal gate 至CT loop 为中段，之前为前段，之后为后段

[原创] 集成电路工艺BEOL、MEOL和FEOL到底什么分别