集成电路工艺BEOL、MEOL和FEOL到底什么分别

wowode3 · 发表于 2017-2-21 10:03:46

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如题，对集成电路工艺首次接触，其中接触到BEOL、MEOL和FEOL，具体分别是什么？典型process flow有什么区别呢？请各位大侠扫盲，谢谢！

Lin@Shi · 发表于 2017-10-10 17:02:44

BEOL Back end of line
MEOL medium end of line(猜的)
FEOL front end of line
按照集成电路制造过程来划分

li859831360 · 发表于 2017-10-14 22:23:51

好东西，谢谢分享

li859831360 · 发表于 2017-10-14 22:24:31

好东西，谢谢分享

caosl · 发表于 2017-12-7 14:21:40

只听过B 和 F

kmandl · 发表于 2019-3-25 09:32:01

现在看工艺文档也遇到这类缩写，同问

张学胜 · 发表于 2019-3-26 07:41:58

现在看工艺文档也遇到这类缩写，同问

felicris · 发表于 2019-4-20 11:05:11

同求

skeyer · 发表于 2019-6-3 14:11:14

make sense

gongzhe1231 · 发表于 2019-6-11 16:22:58

在集成电路工艺中，制造器件部分的工艺叫做FEOL也就是前端，CT和M1作为MEOL也就是中段，之后的连线部分叫做BEOL也就是后段。

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