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EETOP 创芯网论坛 (原名：电子顶级开发网)»论坛 › IC 设计及制造（半导体、微电子） › Analog/RF IC 设计 › Analog/RF IC 设计讨论 › 一个用于SAR ADC的采样电容疑问
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查看: 3297|回复: 9

[求助] 一个用于SAR ADC的采样电容疑问

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自学成菜
发表于 2015-4-7 20:53:01 | 显示全部楼层 |阅读模式

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本帖最后由 自学成菜 于 2015-4-7 20:57 编辑

下面是SAR ADC采样电容的一个单位电容，版图层次如下（SMIC工艺），M1M3M5连一起是一个极板，M2M4连一起是另一个及板；这种电容不像常规的MIM、MOM电容，不知道是什么电容？有什么优点？还有TN层是什么层？什么作用？有知道的大神吗？M1V1

M1V1

M1V1
M2V2

M2V2

M2V2

M3V3

M3V3

M3V3

M4V4

M4V4

M4V4

V4M5

V4M5

V4M5

TN层

TN层

TN层

另外还有一层NW层
电视剧

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自学成菜
 楼主| 发表于 2015-4-8 11:53:12 | 显示全部楼层
没人知道吗？
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dtt0000
发表于 2015-4-8 13:49:06 | 显示全部楼层
用的是上下层金属间的电容，底极板包住了顶极板；还有什么特别的优点？
TN层是什么？
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hehuachangkai
发表于 2015-4-8 15:09:20 | 显示全部楼层
叉指电容。极大地节省了芯片面积
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jamesccp
发表于 2015-4-8 16:09:42 | 显示全部楼层
利用普通金属层做平板电容。
相比MIM少光罩
相比MOM， 精度和一致性更好，单位电容密度稍小。
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自学成菜
 楼主| 发表于 2015-4-9 22:31:57 | 显示全部楼层
回复 5# jamesccp


    你的回答靠谱，TN层和NW层像是用来隔离衬底的干扰
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菜之小佳
发表于 2015-4-14 21:10:25 | 显示全部楼层
我还以为是MOM。。。
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zengyl
发表于 2015-4-14 21:56:46 | 显示全部楼层
回复 7# 菜之小佳
请问您是做SAR ADC的吗，能交流学习下吗
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ralphtwtw
发表于 2017-12-7 13:53:08 | 显示全部楼层
一个用于SAR ADC的采样电容疑问
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ralphtwtw
发表于 2017-12-7 16:01:55 | 显示全部楼层
2bit sar adc 500kps
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