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查看: 3755|回复: 9

[求助] 一个用于SAR ADC的采样电容疑问

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发表于 2015-4-7 20:53:01 | 显示全部楼层 |阅读模式

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本帖最后由 自学成菜 于 2015-4-7 20:57 编辑

下面是SAR ADC采样电容的一个单位电容,版图层次如下(SMIC工艺),M1M3M5连一起是一个极板,M2M4连一起是另一个及板;这种电容不像常规的MIM、MOM电容,不知道是什么电容?有什么优点?还有TN层是什么层?什么作用?有知道的大神吗?M1V1

M1V1

M1V1

M2V2

M2V2

M2V2


M3V3

M3V3

M3V3


M4V4

M4V4

M4V4


V4M5

V4M5

V4M5


TN层

TN层

TN层


另外还有一层NW层
 楼主| 发表于 2015-4-8 11:53:12 | 显示全部楼层
没人知道吗?
发表于 2015-4-8 13:49:06 | 显示全部楼层
用的是上下层金属间的电容,底极板包住了顶极板;还有什么特别的优点?
TN层是什么?
发表于 2015-4-8 15:09:20 | 显示全部楼层
叉指电容。极大地节省了芯片面积
发表于 2015-4-8 16:09:42 | 显示全部楼层
利用普通金属层做平板电容。
相比MIM少光罩
相比MOM, 精度和一致性更好,单位电容密度稍小。
 楼主| 发表于 2015-4-9 22:31:57 | 显示全部楼层
回复 5# jamesccp


    你的回答靠谱,TN层和NW层像是用来隔离衬底的干扰
发表于 2015-4-14 21:10:25 | 显示全部楼层
我还以为是MOM。。。
发表于 2015-4-14 21:56:46 | 显示全部楼层
回复 7# 菜之小佳
请问您是做SAR ADC的吗,能交流学习下吗
发表于 2017-12-7 13:53:08 | 显示全部楼层
一个用于SAR ADC的采样电容疑问
发表于 2017-12-7 16:01:55 | 显示全部楼层
2bit sar adc 500kps
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