如何区分工艺中的衬底和外延类型

海仰望着天 · 发表于 2014-11-13 18:33:47

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如何区分工艺中的衬底和外延类型，一般在剖面图中，衬底和外延的类型如何区分，传统的一般是N衬底P外延或者P衬底N外延，但是也有一些是P衬底P外延，请问如何能快速区分是哪种衬底哪种外延呢？

zjwumei · 发表于 2014-11-14 17:26:01

剖面图中如果标出来了直接看即可，如果没有标出来，区分不了

photoss · 发表于 2014-11-15 10:43:29

本帖最后由 photoss 于 2014-11-15 10:44 编辑

找反相器，一般大的管子是p管，小的管子是n管，看看哪个在井里。如果不对，请大神指点。

海仰望着天 · 发表于 2014-11-15 18:50:48

回复 3# photoss

您好，首先感谢您的回答。但是我问的是外延工艺不是衬底类型谢谢您了

photoss · 发表于 2014-11-16 20:22:25

回复 4# 海仰望着天

说的已经很清楚了，你自己体会吧

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