如何区分工艺中的衬底和外延类型

海仰望着天 · 发表于 2014-11-12 20:05:11

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如何区分工艺中的衬底和外延类型，一般在剖面图中，衬底和外延的类型如何区分，传统的一般是N衬底P外延或者P衬底N外延，但是也有一些是P衬底P外延，请问如何能快速区分是哪种衬底哪种外延呢？

vs尘埃落定 · 发表于 2014-11-19 14:26:33

取决于你做的是什么

zgf85644958 · 发表于 2015-1-13 17:00:17

FAB提供的design rule里面会有介绍

lianaissmec · 发表于 2015-1-27 11:04:54

仔细看design rule和器件的形成

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