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查看: 8139|回复: 15

[求助] 关于ESD GGNMOS溃通问题

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发表于 2010-11-8 21:47:50 | 显示全部楼层 |阅读模式

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esd.png 请教高人,怎样保证图中的GGNMOS会比NMOS管提前溃通,进行泄电?谢谢!
发表于 2010-11-9 07:58:08 | 显示全部楼层
becare of  HV stress cause  latch-up issue in this system.
发表于 2010-11-9 13:19:38 | 显示全部楼层
此处的ggnmos作为第二级esd保护用,用来保护内部pnmos的gate oxide。为何需要ggnmos要比nmos提早溃通?减小channel length可以获得低的punch through电压,但是esd 的性能比较特殊,建议以foundry提供的esd rule作参考。
 楼主| 发表于 2010-11-9 13:38:05 | 显示全部楼层
回复 3# skycloud
这个GGNOMS是用来保护NMOS的吧?如果让GGNMOS先溃通,是GGNMOS的L小于NMOS的L吗?
发表于 2010-11-9 16:00:46 | 显示全部楼层
本帖最后由 skycloud 于 2010-11-9 16:07 编辑

如之前的回复,这里的ggnmos是用来保护input nmos和pmos的栅氧化层的,只要ggnmos的击穿电压(考虑esd电流)低于栅氧的击穿电压就可。如果没有esd data作支持,不建议自己修改esd device的rule。在input 处,ggnmos的L小于nmos的没有直接的意义。如果是output处,则ggnmos是用来保护输出nmos的,ggnmos的L比nmos的小些是合理的。
 楼主| 发表于 2010-11-9 16:55:45 | 显示全部楼层
回复 6# skycloud


    谢谢,但怎么保证ggnmos的击穿电压小于栅氧击穿电压呢?
发表于 2010-11-9 17:25:46 | 显示全部楼层
这个一般foundry要保证的,可以看一下所用工艺的pcm spec中oxide和mos的bv值。
 楼主| 发表于 2010-11-9 17:32:08 | 显示全部楼层
回复 8# skycloud


   谢谢!
发表于 2010-11-10 14:51:10 | 显示全部楼层
一般0.18um的工艺,栅氧的击穿电压会高于junction breakdown voltage,在先进工艺中,比如90nm,65nm也会有3.3V的管子,thick gate oxide, 应该能保证。 如果不能保证这点,就不能采用这种ESD防护方案了
发表于 2010-11-10 15:32:25 | 显示全部楼层
第二级保护,主要保护后面的2个mos管不先被击穿
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