butted diffusion contact

jerry66666 · 发表于 2014-7-8 10:03:28

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butted diffusion 可不可以只在一边打contact呢？

tuohong · 发表于 2014-7-8 11:01:42

不可以。画一下剖面图就知道了。

jerry66666 · 发表于 2014-7-10 11:17:53

但diffusion表面是有硅化的呀，那不是只要一边打了contact，另一边不也相当于连上了吗？

tuohong · 发表于 2014-7-10 11:46:31

嗯，仔细思考楼主的问题，我觉得我的之前的答案不对。如果工艺上有salicide，butting的diffusion可以直接被salicide短路，在这种情况下是可以只在一边打contact。
有高人解释一下吗？

mangoch · 发表于 2014-7-10 16:12:08

噢偶偶

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