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[讨论] butted diffusion contact

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发表于 2014-7-8 10:03:28 | 显示全部楼层 |阅读模式

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butted diffusion 可不可以只在一边打contact呢?
发表于 2014-7-8 11:01:42 | 显示全部楼层
不可以。画一下剖面图就知道了。
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 楼主| 发表于 2014-7-10 11:17:53 | 显示全部楼层
但diffusion表面是有硅化的呀,那不是只要一边打了contact,另一边不也相当于连上了吗?
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发表于 2014-7-10 11:46:31 | 显示全部楼层
嗯,仔细思考楼主的问题,我觉得我的之前的答案不对。如果工艺上有salicide,butting的diffusion可以直接被salicide短路,在这种情况下是可以只在一边打contact。
有高人解释一下吗?
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发表于 2014-7-10 16:12:08 | 显示全部楼层
噢偶偶
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