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查看: 4820|回复: 6

[原创] Sentaurus仿真栅电极问题

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发表于 2016-7-23 21:21:25 | 显示全部楼层 |阅读模式

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最近在仿真一个MOSFET器件特性,但是在看电势图的时候发现栅电极那里有些问题:栅是金属,不会有电势差的Q:我的仿真图像显示栅上竟然有电势差!!!!
十分不理解,后来看了一下资料,想着有可能是我的电极接触(contact)设置错了,因为我的栅大约有5nm厚,contact我只是设置在表面上了,资料上说要设置整个区域(如下图所示)
1.png

然后我按照上面的步骤设置了栅接触,但是我并不理解为什么最后一步要删除栅区域,所以最后一步并没有做。最后的仿真结果显示栅上面还是会有电势差!

所以在这里请教一下大家这是怎么回事呢??能不能给个解决方案呢。。谢谢了

PS:在仿真过程中我发现在做这几步后,显示的结果感觉只是栅的四周设置了接触,栅的内部还是没有用相应接触颜色表示出来。晕。。
发表于 2016-7-27 11:04:40 | 显示全部楼层
第二步做对了吗?
发表于 2016-8-18 15:17:51 | 显示全部楼层
一般电极都是把金属删掉来处理的,接触面就会是金半接触了,然后直接将接触面定义为contact,虽然我也不知道为什么要删掉。。。坐等高手来解答吧
发表于 2016-11-5 12:55:34 | 显示全部楼层
做成金半接触的好处是可以自己手动调节栅极势垒和和功函数。如果是用多晶硅的话,那么系统会自动根据掺杂来计算相应的势垒和功函数。
 楼主| 发表于 2016-11-8 21:45:22 | 显示全部楼层
回复 4# Nathanial_King


   那请问一下,如果要调节金属功函数的话,在哪里设置呢??难道在.cmd文件中吗??我设置功函数都是直接在材料中找到功函数来改,如果没有了金属区,而只是保留那个接触面,那么我那样的设置方法就有问题了吧?
 楼主| 发表于 2016-11-8 21:47:18 | 显示全部楼层
回复 1# xiaoguan


   是说select body吗??应该是做对了。。。
发表于 2023-1-28 19:05:05 | 显示全部楼层
Thanks Thanks
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