Sentaurus仿真栅电极问题

xiaoguan

最近在仿真一个MOSFET器件特性，但是在看电势图的时候发现栅电极那里有些问题：栅是金属，不会有电势差的Q:我的仿真图像显示栅上竟然有电势差！！！！
十分不理解，后来看了一下资料，想着有可能是我的电极接触（contact）设置错了，因为我的栅大约有5nm厚，contact我只是设置在表面上了，资料上说要设置整个区域（如下图所示）


然后我按照上面的步骤设置了栅接触，但是我并不理解为什么最后一步要删除栅区域，所以最后一步并没有做。最后的仿真结果显示栅上面还是会有电势差！

所以在这里请教一下大家这是怎么回事呢？？能不能给个解决方案呢。。谢谢了

PS:在仿真过程中我发现在做这几步后，显示的结果感觉只是栅的四周设置了接触，栅的内部还是没有用相应接触颜色表示出来。晕。。

hszgl

第二步做对了吗?

kora17

一般电极都是把金属删掉来处理的，接触面就会是金半接触了，然后直接将接触面定义为contact，虽然我也不知道为什么要删掉。。。坐等高手来解答吧

Nathanial_King

做成金半接触的好处是可以自己手动调节栅极势垒和和功函数。如果是用多晶硅的话，那么系统会自动根据掺杂来计算相应的势垒和功函数。

xiaoguan

回复 4# Nathanial_King


   那请问一下，如果要调节金属功函数的话，在哪里设置呢？？难道在.cmd文件中吗？？我设置功函数都是直接在材料中找到功函数来改，如果没有了金属区，而只是保留那个接触面，那么我那样的设置方法就有问题了吧？

xiaoguan

回复 1# xiaoguan


   是说select body吗？？应该是做对了。。。

Billmtk

Thanks Thanks