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发表于 2016-9-24 10:49:32
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最近芯片量产测试,有一批die回来后,发现leakage电流偏大的比例较高
照了EMMI之后,发现是由几个用来做异 ...
zhangtaoqiqi 发表于 2016-9-19 17:17
不知道 process 多少, 还有多少漏电? GATE OXIDE 本身也会漏 , 但一般很小 ..advance process 听说 ,
好像比较会发生 , 因为 GATE 一般在生产都须要加 "天线 rule" , 一般加 diode ,
因为 生产时 metal line 电荷会伤到 GATE 氧化层 .
还有是否看过多少DIE 每颗DIE 漏电位置都一样吗?
有切剖面去分析看看吗?
还有些是过电压,一般来说 0.5um oxide 5~6v ,但是7V 就不好 , 你电压有 spike 吗?
gate leakage很小应该照不出来 . 你照出来那漏电多大多少 ua ?? |
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