SMIC 0.18um工艺中的Cox的值是多少？

楼梯口的阳光 · 发表于 2013-4-16 15:11:35

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设计低噪声放大器时，需要计算Cgs（栅源电容），用公式Cgs=0.67*Cox*Weff*Leff，却不知道其中的Cox取什么值。

fuyibin · 发表于 2013-4-16 15:46:23

4nm左右，好像是3.6还是3.8

昱矽 · 发表于 2013-4-16 23:29:18

这个PDK里面有的，去翻翻就有，COX一般是Lmin的五十分之一吧.....这样算下来也就3.6nm

plz762127 · 发表于 2013-4-17 18:25:37

8f 8f 8f 8f

njhaycy · 发表于 2013-4-17 20:52:14

感谢3楼，我也一直想知道

lionlinok · 发表于 2013-4-18 09:39:38

Cox等于二氧化硅的介电常数和栅氧化层的厚度之间tox的比值。
二氧化硅的介电常数为3.453e-5 pF/um，栅氧化层厚度根据工艺库器件模型可以查得到吧

02015678 · 发表于 2013-4-18 11:08:47

模型里面有Tox的值，用εox的值除以Tox就可以了

lionlinok · 发表于 2013-4-18 16:30:08

回复 7# 02015678

“ε”是怎么切换输入法打出来呢？？

02015678 · 发表于 2013-4-18 19:08:24

回复 8# lionlinok

谷歌拼音支持自定义短语，你自己写一个dis文件然后导入谷歌拼音就可以了，例如

复制代码

楼梯口的阳光 · 发表于 2013-4-18 22:47:04

回复 2# fuyibin
谢谢，总算可以继续运算下去了

[求助] SMIC 0.18um工艺中的Cox的值是多少？