SMIC 0.18um工艺中的Cox的值是多少？

zrseu · 发表于 2013-7-21 16:22:48

学习了学习了

semico_ljj · 发表于 2013-7-21 22:16:09

nicer

sdqdxxl · 发表于 2014-12-12 11:11:16

看你的tox是多大了，如果是5nm的话，Cox大概是6.9fF/um2，他俩的乘积是个常数，就是硅的介电常数。tox你看PDK就好了…………

xidianligang001 · 发表于 2015-4-14 19:11:14

我勒个去，这是要仿的

liang979148213 · 发表于 2016-5-15 16:40:29

回复 3# 昱矽

那是Tox吧

gugu2558 · 发表于 2016-5-24 20:51:28

thanks

gugu2558 · 发表于 2016-5-25 00:19:12

thanks

lytwjm · 发表于 2016-9-22 10:19:08

路过,学习

satyaneos · 发表于 2017-1-17 00:37:40

good info

西决1998 · 发表于 2022-8-7 15:32:24

昱矽发表于 2013-4-16 23:29
这个PDK里面有的，去翻翻就有，COX一般是Lmin的五十分之一吧.....这样算下来也就3.6nm ...

你这算的是Tox；要折算到Cox才行呀

[求助] SMIC 0.18um工艺中的Cox的值是多少？