请教关于Offset spacer的作用

cd1992 · 发表于 2024-1-11 10:27:14

seafly2009 发表于 2022-11-24 16:15
2楼感觉说的有些问题，一般来说28nm SPA这里会有3个ETCH，分别是offset spa etch, main spa etch, SPT spa ...

offset 110/130开始往下就有了

gcwen · 发表于 2024-1-22 15:13:53

seafly2009 发表于 2022-11-24 16:15
2楼感觉说的有些问题，一般来说28nm SPA这里会有3个ETCH，分别是offset spa etch, main spa etch, SPT spa ...

请问，在SPT etch前是否需要depo一层SIN？如果有这层目的是什么？谢谢！

iamshan · 发表于 2024-3-26 00:31:19

OFFSET是为了减小COV和改善短沟道效应的；poly re-oxidation是为了修复poly etch导致的GOX和gate poly边缘的损伤；目的不一样；

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