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[求助] 求有用过UMC65工艺的大哥们,请教下lvs报错的情况

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发表于 2021-4-30 10:53:50 | 显示全部楼层 |阅读模式

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求有用过UMC65工艺的大哥们,请教下lvs报错的情况

现在组里用的是UMC65nm,1P8M的工艺,然后现在试想做个两级二极管并联的设计,需要用到DNW,如图 捕获.PNG 3.PNG
然而现在layout的DRC通过了,但是LVS报错,版图识别不了其中一个二极管(lvs面积报错)



我尝试过:
1、直接调用库给的diodnw_ll和diop_ll版图,DRC和LVS都可以通过,schematic和调用的版图及所用layer如下
4.PNG ll_layer.PNG
我认为是diop_ll面积识别的是内NWELL的面积,diodnw_ll面积识别的是DNW的面积,layout中我标出长度了


2、然后我将两个分立的二极管版图整合到同一个阱跑LVS就报错了,其中DIODNW_LL是可以识别的,面积也对得上,但是DIOP_LL就无法识别,面积量级差距很大,其schematic, layout 和 layer如下:
1.PNG 2.PNG 5.PNG diff_layer.PNG lvs_erro.PNG ,面积不同是想验证是否面积影响LVS

望潭里的各位大佬不吝赐教,谢谢!!
发表于 2021-4-30 15:03:52 | 显示全部楼层
我也是新人哈,
我在想,二极管的面积错认是不是和你p有源区的面积有关系,看你lvs结果三个错误layout里面认的二极管面积是一模一样的。
这个DIOP_LL不能识别是不是应该看下两个二极管的剖面图,是不是有软连接什么的。
 楼主| 发表于 2021-4-30 16:37:23 | 显示全部楼层


幽影 发表于 2021-4-30 15:03
我也是新人哈,
我在想,二极管的面积错认是不是和你p有源区的面积有关系,看你lvs结果三个错误layout里面 ...


谢谢你的解答,我想问下剖面图这个是virtuoso layout自带的功能吗,软连接这个我也不是很了解,也是刚接触的软件


然后是P有源区这个的问题,我调用的DIODP_LL里面有源区也不是设定的5um×5um;但同样大小的接触孔在DIODNW_LL里面可以识别,我觉得是DIODP_LL的识别的应该是NWELL和某一层的并集,或者和某几层的并集
发表于 2021-5-6 14:05:53 | 显示全部楼层
剖面图不是layout里的,是跟工艺相关的,一般工艺厂商会提供这个东西。
p有源区这个问题我是看你的lvs错误发现的,这三个lvs错误你看layout那边三个二极管的面积周长都是一样的,刚好也都是你只画了一个孔。所以我是这么认为的。
 楼主| 发表于 2021-5-6 15:01:03 | 显示全部楼层
本帖最后由 AEureka 于 2021-5-6 15:05 编辑


幽影 发表于 2021-5-6 14:05
剖面图不是layout里的,是跟工艺相关的,一般工艺厂商会提供这个东西。
p有源区这个问题我是看你的lvs错误 ...


谢谢解答,经过排查确实如您所说的,是P_DIFF的问题,感谢提供了排错的思路现在比较疑惑的是为什么调用的layout面积设置成5um×5um,调用的版图NWELL确实是5u×5u,而NWELL里面的有源区明显小于这个值,但LVS识别的了而面积不报错,这点我自己画就报错,有点不明白
发表于 2021-5-6 16:18:11 | 显示全部楼层
看下调用的layout是否有特殊层次,自己画的时候有没有添加上去,
 楼主| 发表于 2021-5-7 10:43:15 | 显示全部楼层


幽影 发表于 2021-5-6 16:18
看下调用的layout是否有特殊层次,自己画的时候有没有添加上去,


ll_layer.PNG diff_layer.PNG
如一楼的两个图,我是直接照着调用的layout自己再一层一层的提取画的,左边是调用的layout,右图是我自己画的,对比只少了一层IPWM(它在调用的layout中没有显示,所以我也不知道大小跟位置),我也不是很清楚该层的作用,但是层数跟位置跟调用的是一样的;
发表于 2021-5-7 16:23:31 | 显示全部楼层
这个我不太清楚,没用过这个工艺,不了解IPWM这一层具体是什么。只是从通用的角度看了看,根据你的描述,猜测会有这么一层layer声明这个区域是二极管。有没有试过只显示IPWM这一层,看下这层layer的位置呢。
突然发现你source那边前两个二极管的周长面积不太对啊,和你layout里说的5*5、10*10对不上。
 楼主| 发表于 2021-5-7 20:00:57 | 显示全部楼层


幽影 发表于 2021-5-7 16:23
这个我不太清楚,没用过这个工艺,不了解IPWM这一层具体是什么。只是从通用的角度看了看,根据你的描述,猜 ...


我尝试过单独显示IPWM层,是没有显示任何东西的,也不知道这层是干嘛的,估计这个得找其他工程师问下了
然后面积这个确实不是准确的5*5,但是您看一楼的schematic图里也相应修改了,schematic跟layout都是5.92*5.92
发表于 2021-5-8 09:29:04 | 显示全部楼层
抱歉哈,以我不多的经验来讲,我只能分析到这里了。
可以试试把IPWM就罩在内nwell上,看下有无变化。
一般管子不认或面积不对要么就是少层次或者确实某一层面积不对,但是你这个管子也能识别正确,层次应该没问题(推翻了我前面的一个猜想);要么就是需要看下两个管子的剖面图(1楼第一张那种),工艺里没找到的话就要自己看layout稍微画一画分析一下,看两个管子分开和合并到同一个阱里差别在哪。
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