Tsmc28nm工艺的金属厚度以及多晶硅厚度问题

轩辕觉风 · 发表于 2020-10-21 17:09:40

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新人，求助一下TSMC28nm工艺的金属和多晶硅的厚度问题，在PDK中没有找到，在design rule中找到了一点这方面的描述，想知道有没有前辈知道具体的？
我在design rule中发现金属厚度900A，多晶硅厚度800A，这个数值是正确的吗？

截面图

关于金属的描述

andyfan · 发表于 2020-10-21 23:31:01

设计规则基本正确吧，PDK里面有更准确的数据，你去CCI目录下面找ITF文件，里面有详细的描述

liaohero · 发表于 2020-11-2 13:48:22

只有說到金屬是900

firewolf223 · 发表于 2020-11-2 16:56:10

你是要干嘛呢？这个数值只是个target 值，实际中不可能这么精确

轩辕觉风 · 发表于 2020-11-6 16:06:52

firewolf223 发表于 2020-11-2 16:56
你是要干嘛呢？这个数值只是个target 值，实际中不可能这么精确

要做一个多晶硅光栅的仿真，需要28nm的金属剖面图和厚度等信息

ZMOS · 发表于 2020-11-11 10:15:58

andyfan 发表于 2020-10-21 23:31
设计规则基本正确吧，PDK里面有更准确的数据，你去CCI目录下面找ITF文件，里面有详细的描述 ...

ITF文件里面的厚度使用二进制代码描述的，无法解析。另外请问我想知道如果要获取制程的介质厚度/方块电阻/介电常数等信息用以设计电感，这些信息从哪里获取呢？techfile/LPE文档中都没有？

forevertoyou · 发表于 2020-11-11 14:36:33

5x2y2r的含义是什么？

yzx90333 · 发表于 2020-12-19 09:18:23

请问一下，你的这个层厚度pdf文件是在哪找的？名字叫什么，我在28nm的spice model文档里面没看到这个.
另外，itf文件可以用peakview转换

Syn2012 · 发表于 2020-12-19 11:55:18

forevertoyou 发表于 2020-11-11 14:36
5x2y2r的含义是什么？

5x2y2r表示使用了5层Mx，2层My，2层Mr外加一层M1一共10层metal

forevertoyou · 发表于 2020-12-21 09:10:39

Syn2012 发表于 2020-12-19 11:55
5x2y2r表示使用了5层Mx，2层My，2层Mr外加一层M1一共10层metal

Mx、 My、 Mr的区别是厚度不一样吗？

[求助] Tsmc28nm工艺的金属厚度以及多晶硅厚度问题