Tsmc28nm工艺的金属厚度以及多晶硅厚度问题

Syn2012 · 发表于 2021-1-7 21:14:53

forevertoyou 发表于 2020-12-21 09:10
Mx、 My、 Mr的区别是厚度不一样吗？

有的是厚度不一样，有的是宽度不一样！这个在DRM里面有对应的layer的描述！

王20 · 发表于 2022-10-22 20:15:29

ZMOS 发表于 2020-11-11 10:15
ITF文件里面的厚度使用二进制代码描述的，无法解析。另外请问我想知道如果要获取制程的介质厚度/方块电阻 ...

请问您有找到这些信息在哪里吗

wangquanlong · 发表于 2022-10-26 00:26:51

你好，请问design rule实在哪个目录下的

note30933 · 发表于 2022-10-26 12:21:26

顶一下

洪子 · 发表于 2023-6-14 22:50:20

顶顶顶

zhaozy18 · 发表于 2023-6-29 16:34:01

你好，我想请问下，这个W/S里的S指的是什么呢？为什么会有这个单位呢？

神任职的时间 · 发表于 2023-7-7 16:57:10

zhaozy18 发表于 2023-6-29 16:34
你好，我想请问下，这个W/S里的S指的是什么呢？为什么会有这个单位呢？

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zhaozy18 · 发表于 2023-7-7 17:16:33

神任职的时间发表于 2023-7-7 16:57
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好的谢谢

clxx21 · 发表于 2023-7-10 17:00:38

kankan

Frost1230 · 发表于 2023-11-2 11:24:44

同问design rule在哪个目录下

[求助] Tsmc28nm工艺的金属厚度以及多晶硅厚度问题