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楼主: 轩辕觉风

[求助] Tsmc28nm工艺的金属厚度以及多晶硅厚度问题

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发表于 2023-11-7 23:43:06 | 显示全部楼层
感觉理解正确
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发表于 2024-1-2 12:11:29 | 显示全部楼层
这是design rule的描述, 你是在怀疑啥?
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发表于 2024-4-11 18:01:16 | 显示全部楼层
感谢分享
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发表于 2024-8-26 21:11:15 | 显示全部楼层
DR能不能发一份,多谢
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发表于 2024-12-2 09:29:39 | 显示全部楼层
感谢,我也是想知道的
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发表于 2025-6-19 11:27:44 | 显示全部楼层
楼主你好,请问你找到28nm via/contact/Metal这些方块阻值各多少吗?
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