FINFET 工艺里面CutOD是干嘛用的

glchun · 发表于 2021-3-30 22:02:34

glchun 发表于 2021-3-30 22:01
没那么复杂，第一个是SADP工艺里面形成的Fin都是一个围绕line的环状fin，所以必须要两头切掉(Cut)。第二个 ...

还有就是SADP吃出来的Fin默认都是偶数个，但是你不会刚好那么巧都是用得上的，多余的就是要cut掉。

cyril3164 · 发表于 2023-10-30 14:48:06

gate cut?

[求助] FINFET 工艺里面CutOD是干嘛用的