一个ESD测试案例

userguide

最近有一颗存储芯片，大小32kx8，封装DIP32，32脚是VCC，16脚是VSS。DQ测试结果如下：

测试顺序	TEST GROUP （此组加压测试）	GROUND GROUP (此组接地)	ESD: 1500V J750检测	ESD: 1600V J750检测	ESD: 1700V J750检测	ESD: 1800V J750检测	ESD: 1900V J750检测	ESD: 2000V J750检测
1	DQ0-DQ7	VSS	PASS	PASS	PASS	PASS	PASS	PASS
2	DQ0-DQ7	VCC	PASS	PASS	PASS	PASS	PASS	PASS

问题：

       1、打ESD前后，管脚电阻测试情况如下表，红色标注的电阻值为什么会发生变化呢？

电路编号	Pin32-红表笔、pin16-黑表笔	Pin16-红表笔、pin32-黑表笔
7#	464.7 K欧姆/465K欧姆	394.9 K欧姆/245K欧姆

     2、这个电阻值测试结果可能只是外面看到的一个现象，在ESD测试中有个概念叫做“软损伤”，如果功能和漏电正常，曲线正常。这样的变化是否可以定义为“软损伤”？
     3、假如ESD测试后漏电由10nA变为1uA，芯片的漏电参数要求是5uA（曲线偏移30%以内），可不可以说明该ESD测试通过呢？

lihaiqi208

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userguide

回复 2# lihaiqi208

好像看不到你的回复内容呢？可以写清楚一些吗？

521lkh

3、假如ESD测试后漏电由10nA变为1uA，芯片的漏电参数要求是5uA（曲线偏移30%以内），可不可以说明该ESD测试通过呢？-------ESD测试之后是按照器件的IV来判定 pass or fail ，这个没有超过30%，那ESD测试就会判定为pass,但是如果出现软损伤，那你就要按照跑ATE 来评估了，，，这个软损伤是否对以后的系统造成潜在的失效风险

qwertyu6140

ESD打过后，漏电仍在规格以内的，这种说明器件完全符合要求的，当然可以多打几次看下，器件会不会失效这样的，
要说有没有潜在失效的风险，这个没人能做出保证的啊