关于dummy的问题！！

罗蒙 · 发表于 2015-6-25 10:13:00

为什么我在ICC里面已经插了带metal的和不带metal的filler，在calibre 进行DRC检查，还是报与density相关的error：例如：1.Min Top metal GDS pattern dendity is 30%
2.min density of MIM pattern is 3%

加dummy和插filler是一个概念吗？求大神指点！！

sjtusonic · 发表于 2015-6-25 10:13:01

filler是指std cell filler，是fill硅层，poly，以及底层电源轨道，主要目的是连通电源和阱区
dummy是指dummy metal，是fill上层金属的，主要目的是保证CMP的效果

罗蒙 · 发表于 2015-6-25 10:48:43

回复 2# sjtusonic

非常感谢版主！

icfbicfb · 发表于 2015-6-26 17:11:35

可以忽略，基本

hadeheng · 发表于 2020-12-1 14:56:19

非常感谢版主！

Hanscheng · 发表于 2021-10-28 16:58:45

sjtusonic 发表于 2015-6-25 10:13
filler是指std cell filler，是fill硅层，poly，以及底层电源轨道，主要目的是连通电源和阱区
dummy是指dum ...

filler 还由metal filler呀，和dummy啥区别？求解答

macal · 发表于 2021-10-28 20:50:44

Hanscheng 发表于 2021-10-28 16:58
filler 还由metal filler呀，和dummy啥区别？求解答

metal fill=金属填充物 = metal dummy

一个意思

Hanscheng · 发表于 2021-10-29 17:21:52

macal 发表于 2021-10-28 20:50
metal fill=金属填充物 = metal dummy

一个意思

明白了，谢谢

sjtusonic · 发表于 2021-11-15 16:47:08

还有种dummy cell，为了未来ECO时候拿来做fix时用的。
有dummy cell可用的话，ECO就只需要改少量route，不需要改cell。

[求助] 关于dummy的问题！！

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