集成电路工艺库如何获得各种材料厚度

lianlong · 发表于 2014-9-10 20:07:57

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小弟刚接触集成电路工艺相关的问题，做的是比较底层的东西，想知道如何获得cmos工艺下覆盖层的厚度，比如三层金属工艺AL,Cu,Ti分别厚度为多少，还有外部钝化材料的厚度等一系列覆盖材料的厚度！比如smic厂商提供的65nm工艺如何获得顶层金属厚度，氧化层厚度，貌似在smic提供的工艺库中找不到啊！

真我个性 · 发表于 2014-9-10 21:35:09

在说明文档 process application note中有各层厚度

lianaissmec · 发表于 2014-11-27 17:32:33

一般进行设计时，工厂会提供一套设计规则给你们，有些在design rule里有，这里没有就可以找抽取计生参数的文件了，哪里有

190993300 · 发表于 2015-1-16 10:24:37

跟随pdk一起给你的说明文档 pdf中一般就有各层厚度介绍

icfbicfb · 发表于 2015-1-21 11:54:17

看design rule，spice model，里面都有的

胖大海1991 · 发表于 2015-1-25 22:41:34

DRC规则文件pdf中有各层金属厚度，我曾经看过。
另外，要是你手头有工艺的片子和扫描隧道显微镜的话，就可以具体测量了

yytRA · 发表于 2023-4-20 20:19:15

学习一下

白山茶 · 发表于 2023-8-31 11:59:58

学习学习

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