Sentaurus可以仿真SIMOX工艺吗？

wenhs1055 · 发表于 2013-12-3 14:12:19

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SIMOX涉及到氧离子的注入，以及高温退火，从而在硅中产生二氧化硅。
利用Sentaurus仿真，氧离子可以注入到硅中，但是高温退火之后，硅中没有二氧化硅产生，不知道怎么回事？请高手解答。

SIMOX流程

wenhs1055 · 发表于 2013-12-3 14:13:26

有知道的，请email我，wenhs1055@gmail.com

wenhs1055 · 发表于 2013-12-5 05:58:32

怎么没有人回答呀~~求大神解答~~

qingchuan9985 · 发表于 2013-12-21 04:59:38

yinggai keyi ba

kindlei · 发表于 2015-5-17 13:23:43

似乎人不多，路过

zhaoshukun · 发表于 2015-5-20 10:31:25

完全可以！

tengjiao_wang · 发表于 2015-6-2 16:14:38

么么么么么么么么

[原创] Sentaurus可以仿真SIMOX工艺吗？