我贴的10e15以后迁移率随浓度显著变化你没看见么,你知道工艺掺杂浓度时多少码,你的图10e18浓度左右迁移率怎么就不能有变化?你敢把Y轴换成线性坐标吗?
给你摘抄此文章的图
Comparative Analysis of Mobility and Dopant Number Fluctuations Based Models for the Threshold Voltage Fluctuations Estimation in 45 nm Channel Length MOSFET Devices in the Presence of Random Traps and Random Dopants
迁移率一个随杂质数量的变化,一个随深度的变化
类似的建模文章还有很多,讲的从0.35um-60nm的工艺杂质浓度都在10e18以上,凭什么掺杂浓度不能使迁移率变化?