Wafer Bin Map 如果是甜甜圈會是那類問題

peterlin2010 · 发表于 2013-6-4 10:45:33

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Wafer Bin Map failure mode is donut
如果是甜甜圈會是那類問題  ?

如果是  Bull's-eye patterns  那類問題

google find some paper

etd-0715108-wafer bin map 分類.pdf (3.27 MB, 下载次数: 18 )

peterlin2010 · 发表于 2013-6-4 10:47:28

本帖最后由 peterlin2010 于 2013-6-4 11:02 编辑

回复 1# peterlin2010

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Analysis of Defective Patterns on Wafers.ppt (725 KB, 下载次数: 27 )

有沒有更明確資訊 ?
可以知道是那類機台有問題 ?

WHO HAVE
晶圆良率损失资料分群模式之研究.PDF

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