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[求助] 版图中电阻的Salicide Blocking层相关

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发表于 2013-4-17 19:36:40 | 显示全部楼层 |阅读模式

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请问串联的一串电阻的SAB(Salicide Blocking Layer)可以共用吗?
对SAB这层理解不深,感觉大概是为了阻止Poly上形成Salicide,在做poly电阻时提高阻值用.但是原理什么的完全不知道..

因此想请问,如果是poly电阻的话,串联的一串poly电阻的SAB可以连在一起形成一个大的SAB区吗?还是每个电阻的SAB必须分开?
那如果用nplus电阻呢?工艺库里的nplus电阻器件也有SAB,但是nplus电阻的poly层上没东西啊..就不明白了..请问这种nplus的SAB层可以连在一起吗?
发表于 2013-4-17 23:11:48 | 显示全部楼层
电阻的SAB是可与接在一起的,不加SAB的电阻比较小, 加SAB的电阻比较大。sailicide 是为了减小电阻在PLOY和有源区上形成的金属硅物,如果我没记错的话,不需要sailicide的地方是用SI3N4(陶瓷硅阻挡起来) 一般用在电阻和ESD结构的MOS中。记错的话请原谅自己看资料去吧
 楼主| 发表于 2013-4-18 09:19:21 | 显示全部楼层
回复 2# 蘑菇要冷静


    原来是这样~~非常感谢~~~
发表于 2013-4-18 14:24:07 | 显示全部楼层
注意电阻头部分不能有sab
 楼主| 发表于 2013-4-18 15:01:36 | 显示全部楼层
回复 4# layout123


    好的,多谢多谢,一定注意~~
发表于 2013-4-26 15:53:30 | 显示全部楼层
反版吧,不盖的地方有高浓杂质注入,减小了电阻。
发表于 2013-4-27 15:30:34 | 显示全部楼层
回复 1# yinxy


   
发表于 2013-4-27 15:32:25 | 显示全部楼层
回复 1# yinxy


   哇塞
发表于 2013-4-30 11:33:31 | 显示全部楼层
没有 SAB 层的 电阻的方块值50-60 欧。有 SAB 层的电阻 方块值是 300-400 欧。电阻 不论是串联还是并联 SAB 层都可以 Merge  在一起的(RPPOSAB & RNPOSAB)
发表于 2014-3-7 21:10:38 | 显示全部楼层
回复 2# 蘑菇要冷静
请教下,如果全版都不用SAB的话,也就是说都做salicide,这样不会把栅极与源漏什么的短接在一起吧?
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