版图中电阻的Salicide Blocking层相关

yinxy · 发表于 2013-4-17 19:36:40

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请问串联的一串电阻的SAB(Salicide Blocking Layer)可以共用吗?
对SAB这层理解不深,感觉大概是为了阻止Poly上形成Salicide,在做poly电阻时提高阻值用.但是原理什么的完全不知道..

因此想请问,如果是poly电阻的话,串联的一串poly电阻的SAB可以连在一起形成一个大的SAB区吗?还是每个电阻的SAB必须分开?
那如果用nplus电阻呢?工艺库里的nplus电阻器件也有SAB,但是nplus电阻的poly层上没东西啊..就不明白了..请问这种nplus的SAB层可以连在一起吗?

蘑菇要冷静 · 发表于 2013-4-17 23:11:48

电阻的SAB是可与接在一起的，不加SAB的电阻比较小，加SAB的电阻比较大。sailicide 是为了减小电阻在PLOY和有源区上形成的金属硅物，如果我没记错的话，不需要sailicide的地方是用SI3N4（陶瓷硅阻挡起来）一般用在电阻和ESD结构的MOS中。记错的话请原谅自己看资料去吧

yinxy · 发表于 2013-4-18 09:19:21

回复 2# 蘑菇要冷静

原来是这样~~非常感谢~~~

layout123 · 发表于 2013-4-18 14:24:07

注意电阻头部分不能有sab

yinxy · 发表于 2013-4-18 15:01:36

回复 4# layout123

好的,多谢多谢,一定注意~~

大力射门 · 发表于 2013-4-26 15:53:30

反版吧，不盖的地方有高浓杂质注入，减小了电阻。

chenyueboy · 发表于 2013-4-27 15:30:34

回复 1# yinxy

Jjing · 发表于 2013-4-27 15:32:25

回复 1# yinxy

哇塞

zphcd · 发表于 2013-4-30 11:33:31

没有 SAB 层的电阻的方块值50-60 欧。有 SAB 层的电阻方块值是 300-400 欧。电阻不论是串联还是并联 SAB 层都可以 Merge 在一起的（RPPOSAB & RNPOSAB）

Bingoyb · 发表于 2014-3-7 21:10:38

回复 2# 蘑菇要冷静
请教下，如果全版都不用SAB的话，也就是说都做salicide，这样不会把栅极与源漏什么的短接在一起吧？

[求助] 版图中电阻的Salicide Blocking层相关

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