OPC and CAA缩写的解释

729050850 · 发表于 2012-9-22 21:15:54

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一家公司APR 职位的笔试题 Can you describe the following abbreviations:OPC and CAA? 大家积极讨论啊

yin_wt · 发表于 2012-9-23 01:06:20

opc optical proximity correction. 光刻mask的时候处理某些特殊的地方，改善etching 的质量比如说90度拐角处要弄得细一点

caa 不知道是啥

729050850 · 发表于 2012-9-23 12:11:51

谢谢啊，学习了

jiancongwoo · 发表于 2012-9-24 07:33:12

caa -> critical area analysis

jiancongwoo · 发表于 2012-9-24 07:34:15

TSMC建议Fix掉 Priority one的 DRC+ Violation， Prority one以下的DRC+ Violation可以不去Fix。

729050850 · 发表于 2012-9-24 21:49:54

谢谢啊，学习进步了

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