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[求助] 关于layout最小格点的疑问

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发表于 2012-8-22 16:28:30 | 显示全部楼层 |阅读模式

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关于layout最小格点的疑问,如下:

1. layout 中为什么要设置最小格点?
2. 不同工艺层(layer)的最小格点是否有区别,为什么?
3. 最小格点的设置与工艺的特征尺寸(如130nm、90nm、65nm等)是否相关,为什么?

希望哪位大侠给予回答,不胜感激!


lixiaojun707
发表于 2012-8-22 16:41:46 | 显示全部楼层
最小格点的设置与生产时的设备有关,小于厂家的最小格点,会出现图形没连上的可能
发表于 2012-8-24 09:33:12 | 显示全部楼层
不同的工艺都有自己的最小格点,如果小于最小格点那么在制版的时候,不在格点的线可能出现一些小的锯齿状图形。如果大于格点,有可能不能满足设计的最小规则。
发表于 2012-8-27 16:40:16 | 显示全部楼层
同一工艺的不同layer,最小格点都是一样的。
工艺制程越小,对应的最小格点也会越小。
发表于 2012-8-27 17:21:58 | 显示全部楼层
设计规则中的最小格点,主要是根据该工艺的光刻机的最小光刻尺度所设定的,如果低于这个格点,就有可能在后续的光刻中出现误差,导致性能受到影响,但也不是一定的。

所以,同一个工艺的最小格点每个层次都是一样的
发表于 2012-8-28 14:59:01 | 显示全部楼层
也来看看
发表于 2012-8-29 09:55:57 | 显示全部楼层
基本同意5楼。。。
发表于 2012-9-7 17:01:54 | 显示全部楼层
其实你问的三个问题根本就是一个问题而已,你知道,不同的工艺说明他们的做工精度不同,工艺越小精度越高,那么他就可以使用更小的格点来画layout。格点是你在layout的时候去取的,打个比方,我们在使用0.18工艺的时候往往取0.01的格点,按照工艺精度,精度可以达到98%,如果你采用了0.05的格点精度可能就是百分之百了,但是工艺其实就不是0.18这样的高精度工艺了,;如果你采用了0.005的格点,精确度可能就是70%或更低,返回给工厂出现锯齿边缘等等。大概意思理解就好了。
发表于 2012-10-2 03:49:28 | 显示全部楼层
本帖最后由 zjwumei 于 2012-10-2 03:51 编辑

计算机虚拟绘图应该与我们平时在纸上绘图相同,前提是,虚拟绘图环境要能够模仿真实的环境:

1. 首先需要虚拟的绘图纸,这张纸是用一个数据库来完成的,用二进制数在最底层来描述这张纸;然后,你要知道,你能用使用多少个数字;

2. 然后,通过在软件中进行设定,再把这些“二进制数”与真实世界的几何尺寸相互对应,结果有两个,一个是“虚拟纸通过定义最小的尺寸单位,确定了这张纸能够绘制的极限精度”,另一个是“通过与真实物理世界的几何尺寸对应,确定了这张纸到底有多大”(要知道,不管计算机的性能如何,你都不能无限大的画图)

完成上面的工作之后,一张可以供我们使用的虚拟纸就制作出来了。


回答问题:
* 问题1和2涉及到的是,如何在计算机中绘图……
      通过虚拟纸的定义,可以知道,虚拟纸张和真实的纸张有个非常大的差别:真实的纸是连续的,而虚拟的纸是不连续,二者的差别类似模拟信号和数字信号的差别!
      那么,如何用离散的有限的点来表示连续的平面呢?工程上有个概念叫做精度,也正是用这个概念来解决。同时也要知道,曲线在虚拟纸上都是用多边形近似的!

      所以计算机画layout时,还需要第二次定义最小的尺寸。这个尺寸一定要大于“虚拟纸通过定义最小的尺寸单位,确定了这张纸能够绘制的极限精度”。
      至于“不同工艺层(layer)的最小格点是否有区别,为什么?”这个问题,可以从“这些工艺层有没有特殊的需求的来看”,要画好版图还需要了解一定的底层制造的知识。因此这个问题,具体情况具体分析。


*  问题3,“最小格点的设置与工艺的特征尺寸(如130nm、90nm、65nm等)是否相关,为什么?”说的是draw layout和make mask之间的关系。

     画layout时在一个纯数字的环境下完成的,最终还是通过计算机把layout用数字的方法来制造出来,相关性显而易见,不多解释,想你也思考很久了,我这里抛砖就够了

之所以出现这个问题,就在于,我们看到的自然世界是连续的,而计算机cad时,却要在一个虚拟的不连续的环境中完成。

我也再请你思考一个问题,对于工艺的特征尺寸(如130nm、90nm、65nm等)来讲,机器的加工的极限精度是否就是130nm、90nm、65nm等?
发表于 2013-1-9 19:19:00 | 显示全部楼层
回复 9# zjwumei


    这个回复够深入
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