关于layout最小格点的疑问

lixiaojun707

关于layout最小格点的疑问，如下：

1. layout 中为什么要设置最小格点？
2. 不同工艺层（layer）的最小格点是否有区别，为什么？
3. 最小格点的设置与工艺的特征尺寸（如130nm、90nm、65nm等）是否相关，为什么？

希望哪位大侠给予回答，不胜感激！


lixiaojun707

lianaissmec

最小格点的设置与生产时的设备有关，小于厂家的最小格点，会出现图形没连上的可能

HeNavy

不同的工艺都有自己的最小格点，如果小于最小格点那么在制版的时候，不在格点的线可能出现一些小的锯齿状图形。如果大于格点，有可能不能满足设计的最小规则。

liblueice

同一工艺的不同layer，最小格点都是一样的。
工艺制程越小，对应的最小格点也会越小。

randysong

设计规则中的最小格点，主要是根据该工艺的光刻机的最小光刻尺度所设定的，如果低于这个格点，就有可能在后续的光刻中出现误差，导致性能受到影响，但也不是一定的。

所以，同一个工艺的最小格点每个层次都是一样的

kkill

也来看看

milo_li

基本同意5楼。。。

云飘如水

其实你问的三个问题根本就是一个问题而已，你知道，不同的工艺说明他们的做工精度不同，工艺越小精度越高，那么他就可以使用更小的格点来画layout。格点是你在layout的时候去取的，打个比方，我们在使用0.18工艺的时候往往取0.01的格点，按照工艺精度，精度可以达到98%，如果你采用了0.05的格点精度可能就是百分之百了，但是工艺其实就不是0.18这样的高精度工艺了，；如果你采用了0.005的格点，精确度可能就是70%或更低，返回给工厂出现锯齿边缘等等。大概意思理解就好了。

zjwumei

计算机虚拟绘图应该与我们平时在纸上绘图相同，前提是，虚拟绘图环境要能够模仿真实的环境：

1. 首先需要虚拟的绘图纸，这张纸是用一个数据库来完成的，用二进制数在最底层来描述这张纸；然后，你要知道，你能用使用多少个数字；

2. 然后，通过在软件中进行设定，再把这些“二进制数”与真实世界的几何尺寸相互对应，结果有两个，一个是“虚拟纸通过定义最小的尺寸单位，确定了这张纸能够绘制的极限精度”，另一个是“通过与真实物理世界的几何尺寸对应，确定了这张纸到底有多大”（要知道，不管计算机的性能如何，你都不能无限大的画图）

完成上面的工作之后，一张可以供我们使用的虚拟纸就制作出来了。


回答问题：
* 问题1和2涉及到的是，如何在计算机中绘图……
      通过虚拟纸的定义，可以知道，虚拟纸张和真实的纸张有个非常大的差别：真实的纸是连续的，而虚拟的纸是不连续，二者的差别类似模拟信号和数字信号的差别！
      那么，如何用离散的有限的点来表示连续的平面呢？工程上有个概念叫做精度，也正是用这个概念来解决。同时也要知道，曲线在虚拟纸上都是用多边形近似的！

      所以计算机画layout时，还需要第二次定义最小的尺寸。这个尺寸一定要大于“虚拟纸通过定义最小的尺寸单位，确定了这张纸能够绘制的极限精度”。
      至于“不同工艺层（layer）的最小格点是否有区别，为什么？”这个问题，可以从“这些工艺层有没有特殊的需求的来看”，要画好版图还需要了解一定的底层制造的知识。因此这个问题，具体情况具体分析。


*  问题3，“最小格点的设置与工艺的特征尺寸（如130nm、90nm、65nm等）是否相关，为什么？”说的是draw layout和make mask之间的关系。

     画layout时在一个纯数字的环境下完成的，最终还是通过计算机把layout用数字的方法来制造出来，相关性显而易见，不多解释，想你也思考很久了，我这里抛砖就够了

之所以出现这个问题，就在于，我们看到的自然世界是连续的，而计算机cad时，却要在一个虚拟的不连续的环境中完成。

我也再请你思考一个问题，对于工艺的特征尺寸（如130nm、90nm、65nm等）来讲，机器的加工的极限精度是否就是130nm、90nm、65nm等？

wenjg76

回复 9# zjwumei


    这个回复够深入