关于layout最小格点的疑问

lixiaojun707 · 发表于 2012-8-22 16:27:13

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关于layout最小格点的疑问，如下：

1. layout 中为什么要设置最小格点？
2. 不同工艺层（layer）的最小格点是否有区别，为什么？
3. 最小格点的设置与工艺的特征尺寸（如130nm、90nm、65nm等）是否相关，为什么？

希望哪位大侠给予回答，不胜感激！

lixiaojun707

dummy_tony · 发表于 2012-8-22 21:43:12

这个格点是设备都要求。

wolffshen · 发表于 2012-8-23 11:24:37

回复 1# lixiaojun707

1. 设置最小格点有几个原因：a. 版图是点阵格式的，不是矢量格式的 b.光罩电子束刻录有最小间距等要求 c.Layout经常也要用到坐标方式来做等等
2. 不同工艺层（layer）的最小格点是没有区别，做过layout的应该都知道，EDA软件里是按项目来的，实际Layout的时候，并不是每一层都是画的，有的层是生成的，如果有区别的话，最小格点更小的层在其它层上就是Off Grid了
3. 最小格点的设置与工艺的特征尺寸（如130nm、90nm、65nm等）相关，比如65nm，实际即为0.065um，你再设个最小格点0.01um的话，都无法得到0.065um这样的版图

以上为个人看法，供参考！

sicool · 发表于 2012-9-2 16:38:29

工艺越先进能做的CD越小要求格点越小 mask要求grade 越高的

miaomiao83 · 发表于 2013-1-6 05:21:22

天真。软件公司花巨资，搞点点，最后没有用，可能么？

lydh123 · 发表于 2013-8-9 10:47:04

当然有关系，但是不同层的最小格点应该一样！

97115 · 发表于 2013-9-15 13:03:08

回复 3# wolffshen

一看就是行家，顶一个

xiaohutushen · 发表于 2013-10-11 03:00:56

no idea about that

lymrlym · 发表于 2013-10-11 06:10:13

是的，做MASK也是有要求的。

blackboo · 发表于 2013-10-20 08:37:57

dddddddddddddddddddddddddddddddd

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