关于layout最小格点的疑问

lixiaojun707 · 发表于 2012-8-22 16:27:13

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关于layout最小格点的疑问，如下：

1. layout 中为什么要设置最小格点？
2. 不同工艺层（layer）的最小格点是否有区别，为什么？
3. 最小格点的设置与工艺的特征尺寸（如130nm、90nm、65nm等）是否相关，为什么？

希望哪位大侠给予回答，不胜感激！

lixiaojun707

dummy_tony · 发表于 2012-8-22 21:43:12

这个格点是设备都要求。

wolffshen · 发表于 2012-8-23 11:24:37

回复 1# lixiaojun707

1. 设置最小格点有几个原因：a. 版图是点阵格式的，不是矢量格式的 b.光罩电子束刻录有最小间距等要求 c.Layout经常也要用到坐标方式来做等等
2. 不同工艺层（layer）的最小格点是没有区别，做过layout的应该都知道，EDA软件里是按项目来的，实际Layout的时候，并不是每一层都是画的，有的层是生成的，如果有区别的话，最小格点更小的层在其它层上就是Off Grid了
3. 最小格点的设置与工艺的特征尺寸（如130nm、90nm、65nm等）相关，比如65nm，实际即为0.065um，你再设个最小格点0.01um的话，都无法得到0.065um这样的版图

以上为个人看法，供参考！