SMIC 55nm CMOS 铜工艺Via用的是什么材料？

hmsheng · 发表于 2012-8-2 17:08:57

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SMIC 55nm CMOS 铜工艺Via用的是什么材料？也是铜吗？

maucan · 发表于 2012-8-2 22:15:51

帮忙顶一个。。。

wolffshen · 发表于 2012-8-3 01:25:32

铜工艺一般Via都是铜，大马士革结构，不管是Trench First还是Via First，Via和Metal都是一起Cu Seed，然后ECP Cu的

hmsheng · 发表于 2012-8-3 09:38:02

回复 3# wolffshen

谢谢！

Folger · 发表于 2012-8-4 17:58:03

帮忙顶一个。。。

sicool · 发表于 2012-9-2 16:55:00

肯定是Cu的啦，

andy2000a · 发表于 2012-11-23 16:17:33

要多先進 process 會用 cu ?

0.13um 沒有
還是說 90nm 55nm 都不用AL 改 cu??

wolffshen · 发表于 2012-11-23 18:51:25

回复 8# andy2000a

基本12寸的都是Cu工艺，因为0.13um,0.11um，甚至90nm都有些8寸的，但是12寸也有这些工艺的，所以这些世代Al和Cu工艺都有

forget1all · 发表于 2014-6-21 15:09:09

Cu 呀~~~~~~~~~~~~~

芯语录 · 发表于 2016-6-29 10:40:35

铜工艺一般大马士革结构,Via都是铜

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