金属间介质层的厚度

sunnygddd · 发表于 2013-8-5 14:07:10

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各位前辈，我想知道金属之间介质层的厚度，但是不知道在哪个工艺文件里会给，我看工艺给的design rule里面只给了金属层的厚度，但是没有金属层之间的介质层的厚度以及材料，这个在哪可以查到？

点心 · 发表于 2013-8-5 15:54:47

INTERCAP?

hawaii78 · 发表于 2013-8-6 09:46:43

应该在电气特性那个pdf里面，类似下面的说明。

sunnygddd · 发表于 2013-8-6 13:05:13

回复 3# hawaii78

THANK YOU!!!

shaq · 发表于 2013-8-16 00:56:40

应该在电气特性那个pdf里面，类似下面的说明。
hawaii78 发表于 2013-8-6 09:46

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請問這是哪家的 Process 啊？ M3 真是厚啊！！

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