sentaurus sprocess仿真 关于氢氦注入的问题求助

luoshenghui

各位大侠好，我在做sentaurus sprocess仿真 时想在硅里注入氢，但是出现一下错误："no implant table file for species hydrogen in material silicon"请哪位大侠帮忙解答一下该怎么解决这个问题？

非常感谢！

Jackabcde

这个应该和材料库中有关系，可以掺杂的材料你可以参考SDE里面的内容，如果想掺杂H的话，就需要另外定义。