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[求助] InP 基HEMT工艺仿真

发表于 2016-4-12 09:54:10 | 显示全部楼层 |阅读模式

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第一次发帖，本科生毕业设计问题。请问大神们，InGaAs/InAlAs材料HEMT可以用sentaurus process 来进行工艺仿真吗？如果可以，请问δ-doping怎么实现？时间紧迫，多谢解答，必将感激不尽！

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