现在8inch的主流工艺不需要外延层（epi）吗？

jiangnancai · 发表于 2011-12-16 07:50:50

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1.tsmc 8inch的wafer是否需要epi可以选择，是个option。12inch必须有epi，why？

2. epi带来的好处？ cost增加？

jiangnancai · 发表于 2011-12-17 09:00:25

没人回答

icfbicfb · 发表于 2011-12-17 22:57:11

epi是对substrate有好处的啊，不记得了，

好像是减少泄漏，增加什么稳定性

loopgain · 发表于 2011-12-18 14:01:05

谈不上主流不主流。
epi或non-epi都有很多

mseyre · 发表于 2011-12-30 17:50:17

学习了。。。。。。。。

icfbicfb · 发表于 2011-12-31 17:46:25

我记得 epi的很多，填表的时候

chendiyi · 发表于 2012-1-1 12:56:13

epi纯度高，用CZ法拉出的Wafer纯度不高，参杂也不会非常均匀。一开始使用epi主要是用于提高Bipolar集电极的Breakdown电压。用途1：做Bipolar的burial layer需要Epi，因为离子注入机或用扩散工艺做不了这么深的埋层；2：Epi可以提供不同的物理特性，增加设计的自由度。最主要是它里面不会含有Carbon和Oxyzen。不过Epi很贵，差不多$20-$100 Per Wafer

icfbicfb · 发表于 2012-1-2 22:39:32

这样的，现在的wafer 多少钱一片，裸片

tortose · 发表于 2012-1-4 22:34:17

明白了，谢谢。

tortose · 发表于 2012-1-4 22:35:50

明白了，谢谢。

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