反向版图上有个莫名其妙的东西，求解（图）

wangkes · 发表于 2011-12-3 19:01:18

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如图，两个mos管（并联）和多晶硅电容下面的染色层照片中都有一个联系带似的东西，不知是
干嘛的，求高人解释。谢谢。并联mos管.jpg

电容

c

0.5 um Cmos 工艺

naoz · 发表于 2011-12-3 19:19:58

fuse?

semico_ljj · 发表于 2011-12-5 10:17:26

熔丝吧！！！

wjx197733 · 发表于 2011-12-5 15:21:00

楼主的电路是不是需要数字校准？可能是熔丝。

protose · 发表于 2011-12-8 10:58:54

这个是由于poly对染色剂的阻挡所造成的，不用关心

wangkes · 发表于 2012-1-12 17:03:04

应该不是熔丝，poly层挡住了染色层，没法熔。估计5楼是对的，但出现如此规则的形状，估计还是有点东西。

lsts1211 · 发表于 2012-1-12 17:32:59

应该不是熔丝。

ivenlin · 发表于 2023-9-28 14:08:07

5樓是正確的，應是沒蝕刻完的下層poly

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