Process中的Lot-to-Lot variation是什么？

格子格子 · 发表于 2008-12-4 12:38:04

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呵呵，大家不要笑我，这里的LOT是什么意思啊？

多谢多谢！

highcao2004 · 发表于 2008-12-4 16:31:26

25枚wafer称作一个lot,
由于工艺的复杂性，lot和lot之间会有参数的差异等。。。。
工艺越稳定，差异会越小。。。

格子格子 · 发表于 2008-12-4 16:57:17

太谢谢啦！

多谢多谢。呵呵。能进一步问个问题么，嘿嘿：

为什么把25个算作一批呢？意思是每25个WAFER一组，看和下一组的25个wafer之间的区别？

如果本批次可能就需要12个WAFER，那么就不需要看lot to lot variation了？

--------问题实在是初级，不好意思哈

[ 本帖最后由格子格子于 2008-12-4 17:00 编辑 ]

highcao2004 · 发表于 2008-12-4 21:26:37

为什么不是23，26呢？
这个俺也不清楚，。。。。。

如果你就流12片的话，那就看不到这个差异性了。可以看到wafer 和wafer的差异了。
但是，对于一个产品要量产的话，一般还是需要看看的Lot-lot的，呵呵，祝好！

i0977454522 · 发表于 2016-8-8 17:35:33

thank you~

bright_pan · 发表于 2016-8-8 18:01:00

25片或者24片一个lot，是原来早期的设备，主要是热氧化，清洗，最多一次可以放25片同步完成这个工艺。后面就逐步这样子了。

现在很多都是单步只能1/2片wafer。很多精密工艺，如litho/etch，每个lot后面都需要处理一下，再进另一个lot，否则不能保证很干净。

rainydate · 发表于 2016-8-9 11:08:58

回复 6# bright_pan

高手啊。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。

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