CMOS corner lot的产生，以及与量产时variation的区别

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tanghaihua 发表于 2024-4-20 14:30
请教下具体的该如何分析WAT数据，以确保当前corner wafer确实为target wafer，以FF corner为例，是否需要 ...

做corner lot之前，会跟FAB确定详细的split table，FAB会在这个table里提供具体对哪些参数做split，split的spec high，spec low和target。fast和slow我们一般定义为±3σ。
若FF corner的yield确定过低，需要先跟Design确认是否是design issue（具体问题具体分析），因为我们一般在拿到FAB给的split table之后也是需要先跟Design讨论没问题才会给FAB确认。

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