一般情况下，有外延的工艺载流子迁移率更高吗？

ygyg100 · 发表于 2014-4-4 15:50:18

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如题，外延和非外延工艺比较，一般是外延的迁移率更高一些吗？如果是的话，为什么啊？谢谢！

crazy_fuck · 发表于 2014-4-5 12:04:43

外延层可以做得掺杂浓度更低，这样对载流子散射也没那么强，相应迁移率也会增大。另外外延层一致性比较好，缺陷比衬底少，这样对迁移率也有提高。

ygyg100 · 发表于 2014-4-8 09:07:26

回复 2# crazy_fuck

看来您对工艺很精通。我一直还有一个问题困扰，就是硅衬底上面做大电流和大功率的器件，在工艺上有哪些要求？也就是什么样的工艺（不论高低压，从广义上来说）才适合做大电流和大功率的器件？不吝赐教啊。谢谢。

lhb2139 · 发表于 2014-10-27 20:58:58

我想知道用Hall怎么能测到沟道的迁移率

海仰望着天 · 发表于 2014-11-12 20:03:06

回复 2# crazy_fuck
您好，我想请教您一个问题，就是如何在剖面图中区分衬底和外延的类型？或者一般衬底和外延的类型是如何区分的谢谢

[求助] 一般情况下，有外延的工艺载流子迁移率更高吗？