沟道终止注入为什么可以提高阈值电压？

2hen · 发表于 2011-11-11 09:55:51

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虽然一直都听到说沟道终止注入可以提高阈值电压，但是原因呢？我一直不太明白。

terry8876 · 发表于 2011-11-11 11:06:20

沟道终止注入主要是用来提高厚场阈值的。
你要明白阈值电压的含义，即加在栅上的能使氧化层下刚好反型的电压，说到底，它是靠栅上的电场吸引下面的少子聚积从而来形成沟道。
沟道终止注入是在掺入与潜在源漏区相反的杂质，实质相当于增加背栅浓度，阈值电压自然就提高了。

2hen · 发表于 2011-11-11 12:27:08

回复 2# terry8876

没懂，你说的是阈值调整注入与吧？还是沟道终止注入？这两个有什么区别吗？

zhangren_ham · 发表于 2011-11-11 14:06:34

本帖最后由 zhangren_ham 于 2012-3-14 20:26 编辑

二楼说的是阈值电压与sub的掺杂浓度，这个可以同时解释沟道终止注入和阈值电压调整，沟道终止注入是向场区注入同型杂质用于提高场区寄生mos的阈值电压，阈值电压调整是向有源区（沟道）注入同型或异型杂质用来调整工作管的阈值。