notch/flat对位问题求助！！！

小田哈哈哈

请问大佬们，现在手里晶圆对位方式是notch，但产出的晶圆是flat的方式，有啥办法去用notch对位吗

xf2016

[size=0.875]解决思路

[size=0.875]核心操作

[size=0.875]优点

[size=0.875]挑战与考量

[size=0.875]1. 使用兼容性设备​

[size=0.875]采用能自动识别并处理Flat和Notch的预对准定位装置

或晶圆寻边器
。

[size=0.875]自动化程度高，精度有保障，适合规模化生产。

[size=0.875]设备采购或改造需要投入成本，并可能涉及生产线停机。

[size=0.875]2. 对晶圆进行预处理​

[size=0.875]在Flat区域加工出一个满足Notch对位要求的V形或U形缺口。

[size=0.875]理论上可一劳永逸地解决问题。

[size=0.875]存在引入碎片、微裂纹污染的风险，必须由专业人员在超净环境下操作。

[size=0.875]3. 制作机械适配治具​

[size=0.875]设计一个临时夹具，将其安装在Notch对位器上，夹具上的结构能与晶圆的Flat边缘配合完成粗定位。

[size=0.875]成本可能较低，作为临时方案相对灵活。

[size=0.875]定位精度可能不如专业设备，需要严谨的验证，治具本身也可能带来污染风险。

面对以上方案，您的选择取决于生产需求、预算和对风险的容忍度。以下是一些具体的操作建议：

• 评估需求与咨询设备商
  
  • 明确需求：首先明确这是短期应急还是长期需求？需要处理的晶圆数量有多大？对精度和良率的要求有多高？
    
  • 咨询设备供应商：这是最直接有效的步骤。请联系您现有对位设备或晶圆传输系统（如晶圆寻边器/Aligner
    ）的制造商，询问他们是否提供官方的硬件、软件升级套件或工艺参数调整方案，以使设备能兼容Flat晶圆。他们通常能提供最专业和可靠的解决方案。
    
    
• 优先考虑专业加工
  
  • 如果确定采用“预处理”方案，切勿在普通车间自行操作。必须联系专业的晶圆代工厂或提供此类精密加工服务的机构。他们拥有在超净环境下进行微加工的能力，能最大限度地控制风险，确保加工后的Notch符合SEMI标准（如深度、角度等
    ），并且不会对晶圆其他部分造成损伤。
    
    
• 审慎验证临时方案
  
  • 如果考虑“机械适配治具”，务必进行充分的测试和验证。需要评估其引入的颗粒污染是否在工艺容忍范围内，以及重复定位的精度是否稳定。这通常只适用于对良率要求不高的研发或非关键工艺环节。
    
    
  
  

小田哈哈哈

   

xf2016 发表于 2025-12-1 13:37
面对以上方案，您的选择取决于生产需求、预算和对风险的容忍度。以下是一些具体的操作建议：

评估需求 ...

AI的我们搜过了，这几个都不可行，nocth的真空chuck在喷溅的时候会喷到flat上；夹具啥的因为他不是一个整体，所以会吸不住