RF版图中NT_N层对衬底电导率的影响？

doghead

例如某工艺Techfile中提到Substrate电导率为10 S/m，按照该衬底参数对PDK电感（带有NT_N层）进行EM仿真发现Q值相近，意思是10 S/m的电导率是加了NT_N层才有那么多，如果不加衬底损耗会更大？如果不加NT_N层衬底电导率大概是多少呢？对于RF的无源版图设计都会使用NT_N层吗？

JoyShockley

doghead 发表于 2024-12-7 17:15
能低这么多吗？我仿真拟合带NTN层的电导率大概是10S/m，那没加得多大

https://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=9502919

加完后在10ohm*cm；不加会比这个小不少。

提高高频Q值，一个是加NTN layer，另一个是要尽可能减少寄生电容，提高自谐振频率。

lskating

有相同的疑问，蹲一个答案

doghead

自己顶一顶

jamesccp

一般 NT_N 至少让电导率降低 2个数量级

doghead

jamesccp 发表于 2024-12-7 16:56
一般 NT_N 至少让电导率降低 2个数量级

能低这么多吗？我仿真拟合带NTN层的电导率大概是10S/m，那没加得多大

doghead

JoyShockley 发表于 2024-12-6 21:09
https://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=9502919

加完后在10ohm*cm；不加会比这个小 ...

感谢胡老师指点，也是看您的这篇论文才会去仿真对比NT_N层的影响，现在得到一个明确答案了

iCCCXplore

请问下.proc文件里没有定义NT_N层，EMX是否能仿出来区别？需要导入其他工具手动调衬底电阻率吗？感谢~！

doghead

iCCCXplore 发表于 2024-12-17 00:34
请问下.proc文件里没有定义NT_N层，EMX是否能仿出来区别？需要导入其他工具手动调衬底电阻率吗？感谢~！ ...

你直接按照有NT_N层的电阻率来设置.proc文件里的值就行了，画版图的时候在无源部分把NT_N层都加上

iCCCXplore

doghead 发表于 2024-12-17 13:52
你直接按照有NT_N层的电阻率来设置.proc文件里的值就行了，画版图的时候在无源部分把NT_N层都加上
...

感谢！